ការណែនាំផលិតផល៖ ធាតុអុបទិកឌីផ្រាក់ស្យុង (DOE)
I. គោលការណ៍ធ្វើការ
តាមរយៈការប្រើប្រាស់មីក្រូស្ត្រុកទ័រដើម្បីកែប្រែដំណាក់កាលបញ្ជូននៃរលកពន្លឺដែលឆ្លងកាត់ធាតុអុបទិកឌីផ្រាក់ស្យុង ពន្លឺចូលត្រូវបានកែប្រែដំណាក់កាលបន្ថែមទៀត ដើម្បីឱ្យពន្លឺត្រូវបានចែកចាយទៅជាលំដាប់ឌីផ្រាក់ស្យុងផ្សេងៗគ្នា។ ដោយប្រើលក្ខណៈនេះ តាមរយៈការកំណត់លំដាប់ឌីផ្រាក់ស្យុង និងចម្ងាយវត្ថុ ការជ្រៀតជ្រែកកើតឡើងនៅចម្ងាយជាក់លាក់មួយ (ជាធម្មតាគ្មានកំណត់ ឬប្លង់ប្រសព្វនៃកែវភ្នែក) ដើម្បីបង្កើតការចែកចាយអាំងតង់ស៊ីតេពន្លឺជាក់លាក់មួយ។
II. ការណែនាំអំពីផលិតផល
១. ក្រសួងរៀបចំរាងធ្នឹម
ធាតុអុបទិកឌីផ្រាក់ស្យុង (DOE) គឺជាធាតុអុបទិកឌីផ្រាក់ស្យុងមួយក្នុងចំណោមធាតុអុបទិកដែលត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយបំផុត។ មុខងាររបស់វាគឺដើម្បីទទួលបានធ្នឹមកំពូលរាបស្មើដែលមានការចែកចាយថាមពលឯកសណ្ឋាន គែមចោត និងរាងជាក់លាក់មួយ។
2. ការបែងចែកធ្នឹម DOE
ឧបករណ៍បំបែកធ្នឹម DOE គឺជាធាតុអុបទិកប្លង់ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដោយផ្អែកលើគោលការណ៍នៃការឌីផ្រាក់ស្យុងពន្លឺ និងការជ្រៀតជ្រែក។ ក្នុងនាមជាសមាសធាតុស្នូលនៃការបំបែកធ្នឹមជំនាន់ថ្មី វាជំនួសទាំងស្រុងនូវដែនកំណត់នៃព្រីសប្រពៃណី ឧបករណ៍បំបែកធ្នឹមស្រោប និងធាតុផ្សេងៗទៀត។ ដោយមានគុណសម្បត្តិនៃឯកសណ្ឋានខ្ពស់ ភាពត្រឹមត្រូវនៃការបំបែកខ្ពស់ និងប្រសិទ្ធភាពប្រើប្រាស់ថាមពលខ្ពស់ វាបានក្លាយជាសមាសធាតុសំខាន់ក្នុងដំណើរការស្របគ្នានៃឡាស៊ែរ ការវាស់វែងភាពជាក់លាក់ សោភ័ណភាពវេជ្ជសាស្ត្រ ការទំនាក់ទំនងអុបទិក និងវិស័យផ្សេងៗទៀត។
៣. ការធ្វើឲ្យដូចគ្នានៃធ្នឹម DOE
DOE សម្រាប់ធ្វើឲ្យស្រទាប់កាំរស្មីស្មើគ្នា គឺជាធាតុអុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដោយផ្អែកលើបច្ចេកវិទ្យាកែប្រែដំណាក់កាលអុបទិកឌីផ្រាក់ស្យុង។ វាគឺជាសមាសធាតុស្នូល ដើម្បីដោះស្រាយបញ្ហាពន្លឺឡាស៊ែរមិនស្មើគ្នា អាំងតង់ស៊ីតេកណ្តាលលើស និងអាំងតង់ស៊ីតេគែមខ្សោយ។ វាត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយ នៅក្នុងសេណារីយ៉ូដែលមានតម្រូវការខ្ពស់ ដូចជាដំណើរការឡាស៊ែរ ការព្យាបាលវេជ្ជសាស្ត្រ ការរកឃើញ ភ្លើងបំភ្លឺ និងការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រ។
III. ការសិក្សាករណី (ការបង្កើតធ្នឹម)
ការរចនាការក្លែងធ្វើ
លក្ខណៈរូបវិទ្យា៖
ការធ្វើតេស្តធ្នឹម៖
ការវាស់វែងឧបករណ៍បង្កើតទម្រង់ធ្នឹម
ការធ្វើតេស្តបញ្ចាំងកាំរស្មីឡាស៊ែរពិតប្រាកដ
IV. គំរូលក្ខណៈបច្ចេកទេសផលិតផល (អាចប្ដូរតាមបំណងបាន)
| ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ | លក្ខណៈបច្ចេកទេស | |
| ប៉ារ៉ាម៉ែត្រប្រព័ន្ធ | រលករចនា [nm] | ៥៣២ |
| គុណភាពធ្នឹម (ម៉ែត្រការ៉េ) | ≤1.3 | |
| ទំហំធ្នឹមបញ្ចូល (e^-2)[មម] | ៦ | |
| ប្រវែងប្រសព្វនៃម៉ូឌុលផ្តោត [ម.ម] | ៤២០ | |
| ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ DOE | ទំហំរន្ធថ្លា [ម.ម.] | φ១៥ |
| អង្កត់ផ្ចិតខាងក្រៅមេកានិច [ម.ម.] | φ២៥.៤ | |
| កម្រិតដំណាក់កាល | កម្រិតខ្ពស់ (៨ និង ១៦ កម្រិត) | |
| ប៉ារ៉ាម៉ែត្រទិន្នផល | រាងធ្នឹមដែលមានលក្ខណៈដូចគ្នា | ចតុកោណកែង |
| ទំហំធ្នឹមដែលបានធ្វើឱ្យដូចគ្នា (50%) [μm] | ៣០០ × ១៥០ | |
| ទទឹងតំបន់អន្តរកាល (13.5%~90%) [μm] | 20 | |
| ឯកសណ្ឋានភាពដូចគ្នា (RMS) | >៩០% | |
| ប្រសិទ្ធភាពឌីផ្រាក់ស្យុងសរុប (e^-2) | >៩០% | |
| ដែនកំណត់ឌីផ្រាក់ស្យុង (ម2=1,e^-2)[μm] | ៤៧.៤ |
V. កម្មវិធីឧស្សាហកម្ម
ដំណើរការឡាស៊ែរដែលមានភាពជាក់លាក់
ការធ្វើឱ្យស្រទាប់ធ្នឹមស្មើគ្នា ការបំបែក និងការបង្កើតរាងសម្រាប់ការកាត់បន្ទះ wafer ការខួង PCB ការកែច្នៃកញ្ចក់ ការផ្សារ និងការសម្អាត ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវប្រសិទ្ធភាព និងទិន្នផល។
ការចាប់សញ្ញា 3D និងចក្ខុវិស័យម៉ាស៊ីន
ការបង្កើតអារេចំណុចពន្លឺដែលមានរចនាសម្ព័ន្ធ/ធ្នឹមបន្ទាត់សម្រាប់ការសម្គាល់មុខ ការត្រួតពិនិត្យឧស្សាហកម្ម ការកំណត់ទីតាំងមនុស្សយន្ត និងការវាស់វែង 3D។
LiDAR និងការបើកបរដោយស្វ័យប្រវត្តិ
ការបំបែកធ្នឹមពហុបន្ទាត់ និងការព្យាករណ៍អារេតំបន់សម្រាប់ LiDAR ស្ថានភាពរឹង និងការយល់ឃើញបរិស្ថាន ដែលធ្វើឱ្យប្រព័ន្ធសាមញ្ញ និងកាត់បន្ថយថ្លៃដើម។
ឡាស៊ែរវេជ្ជសាស្ត្រ និងសោភ័ណភាព
ផ្តល់នូវធ្នឹមម៉ាទ្រីសរាបស្មើ/ចំណុចតែមួយសម្រាប់ការដកសក់ ការធ្វើឱ្យស្បែកស្រស់ថ្លាឡើងវិញ និងការព្យាបាលភ្នែកជាមួយនឹងសុវត្ថិភាព ឈឺចាប់តិចជាង និងមានប្រសិទ្ធភាពឯកសណ្ឋានជាងមុន។
ការបង្ហាញ AR/VR និងជិតភ្នែក
ប្រើសម្រាប់ភ្ជាប់មគ្គុទ្ទេសក៍រលកអុបទិក ការពង្រីកធ្នឹម និងការកែតម្រូវការបែកខ្ចាត់ខ្ចាយ ដើម្បីសម្រេចបានប្រព័ន្ធអុបទិកទម្ងន់ស្រាល និងវាលធំ។
ការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រ និងទំនាក់ទំនងអុបទិក
គ្របដណ្តប់លើឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអុបទិក អុបទិកកង់ទិច មីក្រូទស្សន៍ដែលមានគុណភាពបង្ហាញខ្ពស់ ការបំបែក និងបញ្ចូលគ្នានៃម៉ូឌុលអុបទិក ដោយគាំទ្រដល់បច្ចេកវិទ្យាទំនើប និងការទំនាក់ទំនងល្បឿនលឿន។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ មិថុនា-០២-២០២៦