ការត្រួតពិនិត្យភាពរដុបនៃផ្ទៃ កម្ពស់ជំហាន និងកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តស្តើងលើបន្ទះសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិច កញ្ចក់អុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់ និងសមាសធាតុស្រោបកំណត់ដោយផ្ទាល់នូវទិន្នផលផលិតកម្ម។ ការស្កេនឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាទំនាក់ទំនងបែបប្រពៃណីងាយនឹងកោសគំរូឆ្ងាញ់ៗ ខណៈដែលឧបករណ៍វាស់អុបទិកធម្មតាមិនអាចផ្តល់ភាពជាក់លាក់កម្រិតណាណូបានទេ។ តើធ្វើដូចម្តេចដើម្បីសម្រេចបាននូវការធ្វើតេស្តមិនបំផ្លាញ ភាពត្រឹមត្រូវណាណូខ្ពស់បំផុត និងការត្រួតពិនិត្យផលិតកម្មទ្រង់ទ្រាយធំដែលមានអត្រាខ្ពស់ក្នុងពេលតែមួយ?
ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ពន្លឺសឧស្សាហកម្មថ្មីរបស់ Wavelength OE មានរបៀបវាស់ស្ទង់អន្តរកម្មពីរ។ ជាមួយនឹងការរកឃើញដោយមិនប៉ះពាល់ វាគ្របដណ្ដប់លើលំហូរការងារពេញលេញចាប់ពី R&D ក្នុងមន្ទីរពិសោធន៍រហូតដល់ QC ផលិតកម្មតាមអ៊ីនធឺណិត។
របៀបអន្តរកាលស្នូលពីរសម្រាប់សណ្ឋានដីគ្រប់ផ្ទៃ
មិនដូចឧបករណ៍វាស់ស្ទង់របៀបតែមួយទេ ប្រព័ន្ធនេះរួមបញ្ចូលក្បួនដោះស្រាយ VSI (Vertical Scanning Interferometry) និង PSI (Phase-Shifting Interferometry) ដោយបំពេញតម្រូវការវាស់ស្ទង់ស្នូលពីរជាមួយម៉ាស៊ីនតែមួយ។
| ធាតុប្រៀបធៀប | VSI / CSI | ភីអេសអាយ |
|---|---|---|
| ផ្ទៃដែលអាចអនុវត្តបានសំខាន់ៗ | ផ្ទៃរដុប ជណ្ដើរ សណ្ឋានដីមិនជាប់គ្នា និងស្មុគស្មាញ | ផ្ទៃរលោងខ្លាំង បន្ត និងកញ្ចក់ |
| ជួរវាស់កម្ពស់បញ្ឈរ | ជួរធំទូលាយ; មានសមត្ថភាពវាស់ចង្អូរជ្រៅ និងជំហានខ្ពស់ៗ | ជួរតូចចង្អៀត; មិនស័ក្តិសមសម្រាប់ជំហានធំៗដាច់ដោយឡែក |
| គុណភាពបង្ហាញបញ្ឈរ | កម្រិតណាណូម៉ែត្រ; អនុណាណូម៉ែត្រដែលអាចសម្រេចបានជាមួយនឹងក្បួនដោះស្រាយដែលបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង | គុណភាពបង្ហាញខ្ពស់បំផុត; សមត្ថភាពធ្វើម្តងទៀតរហូតដល់កម្រិតណាណូម៉ែត្រ សូម្បីតែកម្រិតក្រោមអង់ស្ត្រូម |
| ភាពធន់នឹងភាពរដុបនៃផ្ទៃ | ខ្ពស់ | ទាប |
| ភាពមិនច្បាស់លាស់នៃដំណាក់កាល | ស្ទើរតែគ្មាន; លទ្ធផលតម្លៃកម្ពស់ដាច់ខាតអាចរកបាន | អាស្រ័យលើកំហុសរុំដំណាក់កាល 2π |
| វាស់ល្បឿន | តម្រូវឱ្យមានការស្កេនអ័ក្ស យឺតបន្តិច | ជាទូទៅលឿនជាង |
| ភាពធន់នឹងរំញ័រ | ងាយនឹងរំញ័រអំឡុងពេលស្កេន | ការផ្លាស់ប្តូរដំណាក់កាលពហុស៊ុម ងាយនឹងរំញ័រជាង |
| កម្មវិធីធម្មតា | ភាពរដុប, កម្ពស់ជំហាន, មីក្រូស្ត្រុកទ័រ, ផ្ទៃម៉ាស៊ីន | ការធ្វើតេស្តភាពរដុបនៃផ្ទៃរលោងខ្លាំង រូបរាងផ្ទៃ និងភាពរាបស្មើ |
PSI (Phase-Shifting Interferometry): មានជំនាញខាងលក្ខណៈពិសេសកម្ពស់តូចខ្នាតណាណូ និងខ្សែភាពយន្តស្តើងបំផុត ដែលផ្តល់នូវគុណភាពបង្ហាញមីក្រូទស្សន៍ចុងក្រោយ។
កញ្ចក់រាបស្មើ
កញ្ចក់កោង (កញ្ចក់ប៉ោង)
គំរូលំនាំរូបថត
អន្តរកម្មស្កេនបញ្ឈរ VSI៖ ធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងសម្រាប់ស្នាដៃដែលមានការប្រែប្រួលកម្ពស់ខ្ពស់ និងជំហានខ្ពស់ៗ។ ជួរវាស់ពេញលេញអាចរកបានដោយមិនចាំបាច់ស្កេនជាផ្នែកៗ។
អារេមីក្រូប៊ូមរាងជារង្វង់លើបន្ទះស្តើងៗដែលវេចខ្ចប់កម្រិតខ្ពស់
អារេរាងអេលីបទិកមីក្រូប៊ូមលើបន្ទះវេចខ្ចប់ទំនើប
អារេមីក្រូកែវ
ដោយផ្គូផ្គងជាមួយប្រភពពន្លឺពណ៌សខ្លី 450–700 nm វាអាចទប់ស្កាត់ពន្លឺវង្វេងពីការឆ្លុះបញ្ចាំងច្រើនយ៉ាងបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព និងផ្តល់នូវប្រសិទ្ធភាពប្រឆាំងនឹងការជ្រៀតជ្រែកខ្លាំង។ បំពាក់ដោយថ្នាំកូតច្រើនស្រទាប់ សមាសធាតុអុបទិកដែលមានការឆ្លុះបញ្ចាំងទាបនេះអាចបញ្ចេញសញ្ញាជ្រៀតជ្រែកដែលមានស្ថេរភាព និងច្បាស់លាស់ ដែលផ្តល់លទ្ធផលវាស់វែងពិតប្រាកដ និងអាចទុកចិត្តបាន។
2. លក្ខណៈបច្ចេកទេសថ្នាក់ណាណូឈានមុខគេក្នុងឧស្សាហកម្ម ទិន្នន័យរយៈពេលវែងដែលអាចតាមដានបាន និងមានស្ថេរភាព
-ប្រព័ន្ធនេះប្រើប្រាស់ប្រភពពន្លឺ LED ពណ៌ស ដែលមានរលកពន្លឺកណ្តាលនៅ 550 nm ដែលបំពាក់ដោយប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការស្នូលលំដាប់កំពូលដែលត្រូវនឹងស្តង់ដារបុព្វលាភសកល។
- គុណភាពបង្ហាញបញ្ឈរ៖ <1 nm, កំហុសវាស់វែងម្តងទៀត៖ <10 nm, ភាពជាក់លាក់ណាណូម៉ែត្រពិត
-ជួរវាស់បញ្ឈរអតិបរមា៖ 500 μm មិនត្រូវការទីតាំងឡើងវិញម្តងហើយម្តងទៀតសម្រាប់មីក្រូរចនាសម្ព័ន្ធខ្ពស់-ទាបទេ។
-ល្បឿនស្កេន៖ 100 μm/s ការស្កេនពេញលេញមួយបានបញ្ចប់ក្នុងរយៈពេល 10 វិនាទី ដោយធ្វើឱ្យមានតុល្យភាពរវាងភាពជាក់លាក់ និងទិន្នផលត្រួតពិនិត្យ។
-អនុលោមតាមស្តង់ដារ NIST ដែលអាចតាមដានបាន ក្បួនដោះស្រាយក្រិតតាមខ្នាតដោយស្វ័យប្រវត្តិដែលភ្ជាប់មកជាមួយធានានូវទិន្នន័យបាច់ដែលអាចតាមដានបានយ៉ាងស៊ីសង្វាក់គ្នា ដោយបំពេញតាមស្តង់ដារ QC យ៉ាងតឹងរ៉ឹងសម្រាប់ឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងអុបទិក។
| វត្ថុ | ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ |
| សមត្ថភាពវាស់ស្ទង់ | សណ្ឋានដី 3D ភាពរដុបនៃផ្ទៃ កម្ពស់ជំហាន និងកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តនៃវត្ថុធាតុឆ្លុះបញ្ចាំង និងសមាសធាតុអុបទិក |
| របៀបទទួលទិន្នន័យ | អ៊ីនធឺហ្វេរ៉ូមេទ្រីស្កេនបញ្ឈរ (VSI) + អ៊ីនធឺហ្វេរ៉ូមេទ្រីផ្លាស់ប្តូរដំណាក់កាល (PSI) |
| ប្រព័ន្ធក្រិតតាមខ្នាត | ក្បួនដោះស្រាយក្រិតតាមខ្នាតស្វ័យប្រវត្តិ + ស្តង់ដារតាមដាន NIST |
| ជួរវាស់បញ្ឈរ | ៥០០ មីក្រូម៉ែត្រ |
| វាលនៃទិដ្ឋភាព | កែវយឹត 20×៖ 0.87 × 0.65 ម.ម |
| សមត្ថភាពកាមេរ៉ា | គុណភាពបង្ហាញអតិបរមា៖ ២០៤៨ × ២៤៤៨; អត្រាស៊ុម៖ ៧៤ ហ្វ្រេមក្នុងមួយវិនាទី; ជម្រៅប៊ីត៖ ១២ ប៊ីត |
| ល្បឿនស្កេន | 100 μm/s (របៀបភាពជាក់លាក់) |
| ជម្រើសកែវថតគោលដៅ | គោលបំណងពង្រីក 20x / 50x ដែលអាចកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធបាន |
| ការរចនាការដំឡើង | វេទិកាញែករំញ័រសកម្មដែលភ្ជាប់មកជាមួយ អាចដំឡើងផ្ដេក និងបញ្ឈរបាន |
| វិមាត្ររួម (បណ្តោយ × ទទឹង × កម្ពស់) | ១២០ × ៨០ × ៦៥ សង់ទីម៉ែត្រ |
| ទម្ងន់សុទ្ធ | ≤58 គីឡូក្រាម |
៣. ការរចនាទូរួមបញ្ចូលគ្នាឧស្សាហកម្ម ឆបគ្នាជាមួយមន្ទីរពិសោធន៍ និងខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្ម
ត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងសម្រាប់ទាំងសិក្ខាសាលាផលិតកម្មទ្រង់ទ្រាយធំ និងមន្ទីរពិសោធន៍ស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រ ជាមួយនឹងភាពឆបគ្នានៃការដំឡើងដែលអាចបត់បែនបាន។
វេទិកាញែករំញ័រសកម្មដែលភ្ជាប់មកជាមួយ៖ ការវាស់វែងមានស្ថេរភាពក្រោមរំញ័ររបស់រោងចក្រ មិនចាំបាច់ត្រូវការតារាងញែករំញ័របន្ថែមទេ។
រចនាសម្ព័ន្ធម៉ោនពីរ៖ ការដំឡើងផ្ដេក ឬបញ្ឈរ ការរួមបញ្ចូលងាយស្រួលជាមួយខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មស្វ័យប្រវត្តិ និងស្ថានីយការងារមន្ទីរពិសោធន៍។
តួខ្លួនតូចច្រឡឹងដែលមានគ្រប់មុខងារ៖ ទំហំតូចជាមួយវិមាត្រ 120×80×65 សង់ទីម៉ែត្រ ទម្ងន់ ≤58 គីឡូក្រាម ងាយស្រួលដាក់ពង្រាយនៅនឹងកន្លែង។
ប្រព័ន្ធពេញលេញរួមបញ្ចូលប្រភពពន្លឺ ឯកតាសំខាន់អន្តរហ្វឺរ៉ូម៉ែត្រ និងម៉ូឌុលត្រួតពិនិត្យ។ ដោតហើយដំណើរការបានបន្ទាប់ពីแกะកញ្ចប់ មិនត្រូវការការកែតម្រូវផ្លូវអុបទិកស្មុគស្មាញទេ។
ការគ្របដណ្តប់យ៉ាងទូលំទូលាយសម្រាប់ការផលិតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់
ឧស្សាហកម្មឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក៖ ការត្រួតពិនិត្យសណ្ឋានដី 3D និងកម្ពស់ជំហាននៃបន្ទះស៊ីលីកុន និងបន្ទះឈីបមីក្រូណាណូ។
អុបទិកភាពជាក់លាក់៖ ការធ្វើតេស្តភាពរដុប និងកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តសម្រាប់កែវយឹត វត្ថុវាស់ និងធាតុអុបទិកដែលមានស្រោប។
ថ្នាំកូតមុខងារថ្មី៖ ការវិភាគទម្រង់ផ្ទៃ និងកម្រាស់នៃថ្នាំកូតឆ្លុះបញ្ចាំង និងខ្សែភាពយន្តស្តើងមុខងារ។
មន្ទីរពិសោធន៍ស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រ៖ ការកំណត់លក្ខណៈរចនាសម្ព័ន្ធមីក្រូណាណូ និងការធ្វើតេស្តរូបរាងសមាសធាតុដែលមានភាពជាក់លាក់។
ដោយមានបទពិសោធន៍វិជ្ជាជីវៈជាច្រើនឆ្នាំក្នុងការស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍អុបទិក ក្រុមហ៊ុន Wavelength OE អភិវឌ្ឍផ្លូវអុបទិកស្នូលទាំងអស់ និងក្បួនដោះស្រាយវាស់វែងដោយឯករាជ្យសម្រាប់ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ពន្លឺពណ៌ស។ ការគ្រប់គ្រងបច្ចេកទេសពេញលេញចាប់ពីប្រភពពន្លឺ កែវភ្នែករហូតដល់ប្រព័ន្ធក្រិតតាមខ្នាត។ អង្គភាពនីមួយៗឆ្លងកាត់ការក្រិតតាមខ្នាតភាពជាក់លាក់ច្រើនជុំមុនពេលដឹកជញ្ជូន។ យើងផ្តល់ការគាំទ្របច្ចេកទេសបន្ទាប់ពីការលក់ពេញលេញ និងប្ដូរតាមបំណងនូវដំណោះស្រាយវាស់វែងផ្តាច់មុខដោយផ្អែកលើទំហំស្នាដៃរបស់អតិថិជន និងតម្រូវការខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មដោយស្វ័យប្រវត្តិ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៥ ខែកក្កដា ឆ្នាំ ២០២៦