កែវថត F-Theta ត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅរួមគ្នាជាមួយកញ្ចក់ស្កេន galvanometer នៅក្នុងប្រព័ន្ធឆ្លាក់ កាត់ និងសម្គាល់ដោយឡាស៊ែរ។ ជាធម្មតា ការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយ F-Theta របស់កែវថតត្រូវបានរក្សាទុកតិចជាង 1% ដើម្បីឱ្យវាអាចបង្កើតចំណុចច្បាស់លាស់នៅក្នុងវាលរាបស្មើនៅលើប្លង់រូបភាព។
ភាពអត់ធ្មត់អង្កត់ផ្ចិត៖ +០/-០,១៣មម
ភាពអត់ធ្មត់កម្រាស់៖ ± ០,២៥ ម.ម
ភាពអត់ធ្មត់នៃប្រវែងប្រសព្វ៖ ± 2%
បំរែបំរួលកម្រាស់គែម (ETV): ≤3 ធ្នូអប្បបរមា។
ជំរៅច្បាស់៖ > 90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
គុណភាពផ្ទៃ៖ ៤០-២០ SD
ថ្នាំកូត AR: R<0.2% ក្នុងមួយផ្ទៃ @10.6μ